源乾曜早年考中进士，出任江南道巡察使政绩突出，升任谏议大夫
源乾曜早年考中进士，累迁至殿中侍御史。706年（神龙二年），唐中宗任命十道巡察使，让他们负责考察官吏、安抚百姓等事务。源乾曜出任江南道巡察使，因政绩突出，升任谏议大夫。
源乾曜入宫奏对不怯场，至累职升迁尚书左丞
711年（景云二年），源乾曜针对朝廷荒废射礼的行为，上奏道：“圣王教化百姓，必制定礼乐以正人情。君子三年不为礼乐，则礼崩乐坏。古代择士，先观射礼，并不是取一时之乐。射可以区别正邪、观察德行，圣王对此无不重视。如今朝廷吝惜费用，而荒废射礼，甚是不妥。臣认为花费的虽是钱财，但保全的却是礼制，请陛下重开射礼。”不久，源乾曜出任梁州都督。
713年（开元元年），邠王府僚属犯法，唐玄宗便要大臣推举王府长史。源乾曜得到太常卿姜皎的举荐，入宫奏对。他神态清明，气质爽朗，回答问题有条不紊。唐玄宗大喜，任命他为少府少监，兼邠王府长史。不久，源乾曜升任户部侍郎、兼御史中丞，又改任尚书左丞。
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